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用于行业 |
钟表行业、3C行业、五金行业、精密模具业、工具行业等 |
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用于产品 |
表壳表带、钻头、硬质合金、铣刀、冲棒标准件模具、成型模具等 |
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镀膜效果 |
钛金、玫瑰金、香槟金、日本金、炫银、七彩、宝石兰、玫瑰红、黑色等 |
- 详细介绍:
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FOXIN-PVD 多弧离子溅射镀膜机型号（直径1.2mm以内） |
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性能型号 |
PVD-0708 |
PVD-0809 |
PVD-0910 |
PVD-1012 |
PVD-1212 |
PVD-1215 |
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真空室尺寸:mm |
Ф700×H800 |
Ф800×H900 |
Ф900×H1000 |
Ф1000×H1200 |
Ф1200×H1200 |
Ф1200×H1500 |
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真空室结构 |
立式前开门结构配置抽气系统及水冷系统 |
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真空获得系统 |
维持泵+机械泵+罗茨泵+扩散泵或分子泵（具体型号可根据客户的要求进行配置） |
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真空测量系统 |
一台皮拉尼(MKS)一台冷阴极(MKS)一台薄膜规(MKS) |
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电源类型 |
直流电源、中频电源、脉冲电源 （偏压电源、弧电源） |
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极限真空指标 |
空载冷态1.0一 6.0×10-4Pa |
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电弧源 |
6台-8台 |
6台-8台 |
8台-12台 |
8台-12台 |
10台-14台 |
10台-14台 |
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200A-300A |
200A-300A |
200A-300A |
200A-300A |
200A-300A |
200A-300A |
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偏压电源 |
20KW/1台 |
20KW/1台 |
20KW/1台 |
30KW/1台 |
30KW/1台 |
30KW/1台 |
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磁控电源 |
1台-2台 |
1台-2台 |
2台-3台 |
2台-3台 |
2台-3台 |
2台-3台 |
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工件转动方式 |
多轴行星式公自转、变频调速（可控可调） |
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工件烘烤温度 |
常温-300℃至450℃-600℃可控可调（PID温控） |
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工艺气体 |
3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统 |
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氩气、氮气、氧气、乙炔等 |
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冷却方式 |
水冷却循环方式，另配工业冷却水塔或工业冷水机（制冷机)或深冷系统。（客户提供） |
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控制方式 |
PLC+触摸屏操作或计算机控制，手动、半自动、自动方式、 |
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供给指标 |
气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa、 |
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报警及保护 |
对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。 |
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整机总功率 |
25~65KW |
45~85KW |
65~105KW |
85~115KW |
95~125KW |
100~130KW |
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输出频率 |
电压380V±5%，频率50Hz（可根据客户国家用电标准配置） |
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设备占地面积 |
15~50m2 |
15~50m2 |
25~55m2 |
25~55m2 |
35~55m2 |
35~55m2 |
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备注 |
可根据用户要求设计制造非标设备，可加装磁控溅射靶、中频孪生对靶等。 |
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- 应用范围:
佛欣真空专注真空镀膜设备制造14年!（SINCE 2000)
术业专攻：多弧离子镀膜机；磁控溅射镀膜设备；多弧离子溅射镀膜机
质量监测：佛欣真空实行严格的内审和真空行业标准，产品和公司全面通过欧盟CE和ISO9001：2008国际质量管理体系认证!
愿景使命：把最出色的，最人性化的，最适合的真空镀膜设备和售后服务顺利交付给千千万万的客户,并为客户创造价值。
销售直线:0757-86136159销售经理: 13929976358售后服务: 0757-86136172
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